深圳市泰克光電科技有限公司
SHEN ZHEN TEC-PHO CO.,LTD.
PK-600T藍膜編帶機
- 日制高精密絲桿導軌，機械剛性強，使用壽命長，具有超高精度的定位精度與長期運行的精度穩定性；
- 整機采用儀用大理石平臺與整機下沉式設計，具有極好的運行平穩性；
- 機構尺寸優化縮小，提高廠房利用率；
- 采用DD馬達驅動16工位PP吸嘴，實現高精度，高速度以及高穩定的編帶需求；
- 可用橡膠或電木等不同吸嘴進行取料；
- 機器可跟據需求搭載材料AOI系統，實現編帶前及編帶后對材料進行外觀檢測；
- 上料機構建有兩個晶園料盒進行上料，實現全自動作業，減少人工參與；
- 適用于Max 8inch 鐵環上下片之產品藍膜編帶需求，可跟據客戶要求采用鐵環或擴晶環進行上料；
- 方便易用的軟件用戶操作界面；
- 可連接MES系統管理；
- 產品參數
- 日制高精密絲桿導軌，機械剛性強，使用壽命長，具有超高精度的定位精度與長期運行的精度穩定性；
- 整機采用儀用大理石平臺與整機下沉式設計，具有極好的運行平穩性；
- 機構尺寸優化縮小，提高廠房利用率；
- 采用DD馬達驅動16工位PP吸嘴，實現高精度，高速度以及高穩定的編帶需求；
- 可用橡膠或電木等不同吸嘴進行取料；
- 機器可跟據需求搭載材料AOI系統，實現編帶前及編帶后對材料進行外觀檢測；
- 上料機構建有兩個晶園料盒進行上料，實現全自動作業，減少人工參與；
- 適用于Max 8inch 鐵環上下片之產品藍膜編帶需求，可跟據客戶要求采用鐵環或擴晶環進行上料；
- 方便易用的軟件用戶操作界面；
- 可連接MES系統管理；
序號[No.] | 描述[Description] | 規格[Specifications] |
1 | Wafer-Table X、Y、θ 工作行程 | 360mm、560mm、±15° |
2 | X、Y、θ 運動分辨率 | 0.5um、0.5um、0.0003° |
3 | X、Y、Z重復定位精度 | ≤5 um |
4 | X、Y垂直度 | ≤8um @ 150mm |
5 | PP吸嘴定位精度 | ≤5 arc-sec |
6 | Wafer-Table 作業適用之晶圓或材料上片環尺寸 | Max : 8寸鐵環 或 7寸擴晶環，作業范圍6“ |
7 | 可吸取芯片尺寸范圍 | 20mil ~ 200 mil超出此范圍需要與我協商訂制； |
8 | 掃描CCD | 130萬像素，黑白相機 0.7-4.5X手動變倍鏡頭 |
9 | 相機視野 | 7mm x 5.5mm @1X倍率 |
10 | 適用載帶 | Max 16mm 需要與我司業務人員聯系確定； |
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