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深圳市泰克光電科技有限公司

  SHEN ZHEN TEC-PHO CO.,LTD.

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IC探針臺IPT-800A&IPT-800M半導體晶圓點測機

    • 配備 TTL、GPIB、COM 之開放式的接口,可與目前市面上各家芯片測試儀進行搭配使用; 
    • 日制高精密絲桿導軌,配合高分辨率光柵尺/磁柵尺,品質穩定,磨損少,機械剛性強,運行平穩
    • 機構尺寸優化縮小,提高廠房利用率 
    • 適用于 Max.8 inch 之常規芯片、垂直結構芯片 
    • 全自動上下片可選配


  • 產品參數
    • 配備 TTL、GPIB、COM 之開放式的接口,可與目前市面上各家芯片測試儀進行搭配使用; 
    • 日制高精密絲桿導軌,配合高分辨率光柵尺/磁柵尺,品質穩定,磨損少,機械剛性強,運行平穩
    • 機構尺寸優化縮小,提高廠房利用率 
    • 適用于 Max.8 inch 之常規芯片、垂直結構芯片 
    • 全自動上下片可選配


機臺規格

序號[No.]

描述[Description]

規格[Specifications]

1

X、Y、Z、θ 工作行程

500mm、250mm、15mm、±30°

2

X、Y、Z、θ 運動分辨率

0.5um、0.5um、0.5um、0.001°

3

X、Y、Z重復定位精度

5um

4

X、Y垂直度

≤5um @ 150mm

5

測試面平面度

5um 

6

芯片承載臺適用

8“芯片適用之擴晶環、鐵環

7

掃描 CCD

CCD1:低倍率 1.3M 黑白 0.5x 鏡頭 

CCD2:高倍率 1.3M 黑白 2x 鏡頭

8

相機視野

7mm x 5.5mm

9

觀察對針

CCD3:1.3 M 像素、黑白 1x 鏡頭

10

最大支持顆粒數

100 萬顆

11

適用芯片尺寸范圍

4mil~100mil @ Pad 尺寸≥30um

12

針痕大小

針壓 1.5g,探針針尖≤5um 情況下,針痕面積≤1/4 PAD @ PAD≥40um  

13

GPIB IEEE-488.2 接口

1x 

14

LAN 接口

1x 


IC探針臺IPT-800A&IPT-800M半導體晶圓點測機
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